规整膜系相关论文
提出了一种新型的极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法.该方法通过设计和高速监控波长,改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精......
介绍了一种利用光电极值法同时控制规整膜系和非规整膜系的方法,利用VC++编写程序实现对光学监控信号的采集、处理及停镀点的自动判......
借助于VC++编程从理论上模拟分析了膜厚监控误差以及监控片不均匀性对光学膜厚监控的影响。结果表明,膜厚监控误差和监控片的不均......
提出了一种通过计算机模拟薄膜的淀积过程来计算规整膜系层厚允许误差的方法 ,所计算的层厚允许误差不仅取决于膜系的设计结构 ,还......