膜厚监控相关论文
提出了一种提高光电极值法中膜层厚度监控精度的新方法。通过提高判读点的精度, 避免了光学极值法中停镀时存在的随机误差; 通过算......
本文提出了一种新的监控软X光多层膜膜厚的方法——转速控厚法,利用这种方法镀制的设计周期厚度分别为8.4和10nm,周期数达50对和30......
通过对宽光谱膜厚监控原理分析，设计出一套便携的嵌人式宽光谱在线膜厚监控系统。该系统基于ARM9内核微控制器S3C2440，采用Linux操作......
介绍一种复合光路宽光谱膜厚监控系统及其软硬件开发,对系统结构组成和工作原理进行说明。通过增加中间通光孔式的分光镜的复合光......
基于评价函数的宽光谱膜厚监控系统,由于实测光谱曲线和理论光谱曲线相背离,使得评价函数发散,监控失败。利用实测的膜层透射率光......
本文从理论和实验两个方面讨论了紫外滤光片的设计以及其在真空环境中的制备。从Maxwell方程组入手，推导了薄膜的特征矩阵，建立了计......
在光学薄膜器件的制备过程中,薄膜厚度是实现器件特性的最重要的参数,薄膜制备的成功与否取决于在薄膜生长过程中能否对各层薄膜的......
针对军用测距系统中窄带滤光片的使用要求,综合分析常用的镀膜材料的光学性能与机械性能,优化膜系设计,减小厚度监控误差,改进制备......
该文针对窄带滤光片的膜系设计、监控手段、误差分析进行了深入的理论研究,并进行了大量的实验研究.首先,分析了多腔窄带滤光片的......
该文研究了光学多层镀膜机的光学监控原理和实际光路,针对近红外膜厚监控信号弱、噪声大和信噪比低等特点,利用相关测量、锁相放大......
本文介绍了一种基于光纤光谱仪的宽光谱综合监控系统,该系统在光学镀膜过程中,采用实时宽光谱、评价函数、单波长极值、色度分析等......
讨论了 CCD的主要特性及对宽带膜厚监控系统的影响 ,介绍了典型的 CCD数据采集系统。建立了一套基于 CCD的宽带膜厚监控系统 ,并对......
介绍了一种基于LabVIEW的光学镀膜宽光谱综合监控系统。阐述了光学镀膜宽光谱监控的原理和高级图像编程语言（LabVIEW）在此系统中的应......
在嵌入式Linux基础上，从图形用户界面的设计、数据处理模块的设计以及两部分联合工作等方面介绍了实时光学膜厚监控系统的设计和实......
在光学真空镀膜膜厚监控过程中,近红外波段信号弱、外界干扰大、信噪比低,难于检测监控.运用相干检测、锁相放大原理,在光学真空镀......
为了准确计算出镀膜过程中每层膜的折射率,介绍了实时监控过程中确定膜层折射率的2种方法：一种是由实测的透射比光谱直接反算出膜层......
利用杂质和劣质粮食与优质粮食的近红外吸收光谱不同的特性,根据光谱中反映测试成分的特征波段的差异对粮食进行光学分选.在光谱进......
单波长监控很难精确控制宽波段上的光学特性.若采用宽光谱扫描可以在很宽的波长范围内监控薄膜特性,则控制既直观又准确.虽然宽光......
在光学真空镀膜膜厚监控过程中,近红外波段信号弱、外界干扰大、信噪比低,难于检测监控.运用相干检测、锁相放大原理,在光学真空镀......
由透过率和波长的函数关系可知,膜系中每一层都可能存在若干波长的光信号会出现极值偏转.利用这些波长作为每层膜的监控波长,满足......
为了实时准确监控光学镀膜膜层厚度,基于宽光谱扫描法,结合嵌入式控制技术,开发出一套以ARM9与Linux系统的高效嵌入系统为基础,应......
本文介绍了一种高性能的实时宽光谱膜厚控制仪的设计与制作,详细介绍了该系统的工作方式及设计思想.实验表明该系统可以用于光学薄......
根据太阳跟踪器系统中窄带滤光片的使用要求,太阳光谱在波长750nnm处的光能比较稳定,能避免杂光干扰这一特点,研制一种太阳跟踪器......
银经常被应用于制备诱导增透滤光片,在这种宽带滤光片中,银膜的厚度一般在几个纳米,这样使得精确监控银的厚度很困难.提出一种简单......
光学薄膜的光学特性与其每一膜层的厚度密切相关,为了制备出符合要求的光学薄膜产品,在制备过程中必须监控膜厚。对于规整膜系来说......
光学薄膜的厚度对光学元件的性能有决定性的影响,因此精确控制膜厚就成为了关键。分析了石英晶体监控法,介绍了IC/5镀膜自动控制仪......
借助于VC++编程从理论上模拟分析了膜厚监控误差以及监控片不均匀性对光学膜厚监控的影响。结果表明,膜厚监控误差和监控片的不均......
讨论了膜厚监控系统的光谱宽度对波分复用窄带滤光片特性的影响 ,分析了监控过程中所出现的信号异常现象 ,其主要原因是控制光光谱......
在光电极值法基础上采用一定的信号采集方法、数据处理和极值点判断算法,通过硬件电路和高级程序语言设计了膜厚监控系统。实验表......
在光学薄膜器件的制备过程中,薄膜厚度是实现器件特性的最重要的参数,薄膜制备的成功与否取决于在薄膜生长过程中能否对各层薄膜的......
窄带滤光片作为滤光和选择谱线的器件,在激光技术,医疗,卫星遥感探测以及目前正在飞速发展的光通讯技术中有着广泛的应用。窄带滤......
针对空间光通信系统中光学系统对滤光膜的特殊要求,结合薄膜的基本理论,分别对近红外宽截止窄带滤光片的膜系、制备工艺以及相关检......
针对过去的宽带膜厚监控法必须依赖镀制前设定的目标透射率（反射率）的固有缺陷，提出了在蒸镀过程中及时拟合出所镀层的膜厚、色散系数......
在空间光通信系统中,为满足光学系统对滤光膜的特殊要求,研制出了一种近红外宽截止窄带滤光膜,实现了降低深背景范围内杂散光干扰......
窄带滤光片是DWDM光纤通信系统中的关键器件之一,它一般是全介质滤光片,即间隔层与反射层都通过镀制介质薄膜形成,镀制难度高,成品......
比较了光学薄膜淀积过程中的晶振监控和光学监控各自的优缺点，提出了一种有效利用这两种监控方法各自优点的复合监控方法，利用该复合......
期刊
介绍了用石英晶体膜厚控制仪全自动生产光学干涉滤光片的系统结构、镀膜参数和主要结果.讨论了通过改进离子辅助镀膜工艺提高TiO2......
为提高中远红外增透膜镀膜工艺中膜厚监控的精度,对石英晶振监控和光学极值法监控进行了对比研究,分析了两者的优缺点。通过对两种......
高精度高性能的光学薄膜膜厚监控系统是制备密集波分复用滤光片的关键,本文提出了一种非1/4波长膜系监控膜厚的方法,该方法所采用......
