诱蚀剂相关论文
ＨＦ与ＳｉＯ２的反应是一种亲核取代反应，但高温下此反应不能发生．当涂覆在ＳｉＯ２表面的聚合物膜中含有某些特殊的有机化合物或超强酸时，可以促进该反应......
二氧化硅与气相氟化氢的反应和与氢氟酸的反应不同,当温度高于100℃时,气相氟化氢与裸露的二氧化硅无明显反应,当二氧化硅表面涂上......
无显影气相光刻技术是我国在1980年发明的一种独特的光刻技术,具有不需要显影,分辨率高等优点.但它的机理并不清楚.本文介绍十多年......
