调谐基片相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

调谐基片相关论文

射频感性耦合等离子体中调谐基片自偏压的振荡现象

射频实验小组专门从事ICP(inductive coupling plasma)等离子体基片调谐自偏压的物理特性方面的研究工作。在以前的实验中，首次发现......

学位

射频调谐基片基片偏压自振荡鞘层

ICP调谐基片偏压跳变回滞现象的研究

在CCP(capacitive coupling plasma)中调谐基片偏压具有不连续变化现象，当基片之间为渐增的感抗时，基片上会产生渐增的负偏压。但当......

学位

射频调谐基片基片偏压双稳态非线性鞘层

看过本文同时还关注