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微机械谐振器件是MEMS（微机电系统）的典型器件，广泛应用于超快响应和超高灵敏度的执行器和传感器。为获得高性能的谐振器件，需要设计和......
随着MEMS技术的逐渐发展,MEMS谐振器件以其优良的机械性能而被广泛的应用。和宏观机械不同,由于MEMS谐振器的尺寸很小,在工作过程......
该文针对微机械谐工传感器和微机械基本理论的国际前沿和研究热点,进行了系统深入的研究,研究的主要内容和重要结论如下:通过引入......
随着纳机电系统(NEMS)谐振器尺寸的减小和谐振频率的提高,能否对谐振器的振动实现精确检测已经成为困扰NEMS器件继续发展的主要问......
在很多频率控制应用中,可用廉价的声表面波滤波及谐振器件取代体积庞大的LC滤波器和石英晶体振荡器.rn某些陶瓷材料的压电效应得到......
设计了悬臂梁结构电热激励、压阻拾取硅微机械谐振器件,分析了电热激励和压阻拾取的基本工作原理,设计了与Bipolar工艺兼容的器件......
热弹性阻尼作为一种基本的能量耗散机理，对高质量因数的MEMS谐振器件有着重要的影响。因为纯扭转振动不产生热弹性能量耗散，所以过去......
