MEMS系统相关论文
主要介绍了一种全新的设计方法,在标准的EDA设计环境里、采用可重复使用的MEMS设计库单元,使设计者能够对MEMS产品的工艺可行性作......
物联网中的关键技术是感知环境信息，而随着应用需求的不断提高与发展，基于位置的服务的应用越来越占据着重要的科研价值和应用前景。......
MEMS系统主要以硅作为其主要材料,其尺寸在毫米和微米之间,低成本,为尺寸的MEMS是未来制造业发展的必然趋势,在MEMS加工和实验的过......
微机械谐振器件是MEMS（微机电系统）的典型器件，广泛应用于超快响应和超高灵敏度的执行器和传感器。为获得高性能的谐振器件，需要设计和......
MEMS驱动器是一种换能元件,能够将其他形式的能转化成机械能,具有体积小、质量轻、结构简单等优点,适合在引信中应用。本文介绍了......
MEMS系统的飞速发展让人们对微尺度领域的研究产生了极大的兴趣。微电子机械系统(Micro Electronic Mechanical System)采用与集成......
MEMS(Micro E1ectro Mechanical System)是采用微机械加工技术,集微型传感器、微型致动器、微型控制器于一体的微机电系统。把MEMS......
微机电系统（MEMS）是一个多学科技术交叉的新兴领域，在航空、航天、军事等领域有着广泛应用。MEMS学科发展迅速，与其相对应的设计方法与......
通过对传统磁通门传感器的结构、原理的分析研究,结合目前国内外微型磁通门传感器研究的现状和所具备的实验条件,分析了磁通门探头......
随着MEMS系统的复杂度和集成度不断提高，微装配技术的应用日益广泛。本文开发了一种基于MEMS的模块化微装配平台研究，并对其中关键的......
MEMS加速度传感器以其各种优越的性能在军事与商业设备中得到广泛应用,它包括MEMS传感器和IC读出电路两部分。近年来,由于其高精度......
A Cr film with a 75 nm thickness sputtered on a Si substrate was used to fabricate microbridge and microcan-tilever samp......
纳米摩擦学的研究结果表明,对于MEMS系统,摩擦力是最主要的牵引力和驱动力；摩擦力的稳定性和微构件磨损率直接关系到MEMS系统工作的......
结合调度自动化的要求,比较了目前在SCADA/EMS系统中网络传输数据方式的各自特点,从经济、技术角度提出了采取IP单/组播混合模式的......
长期以来德国MEMS衬底制造商PlanOptik一直是玻璃晶圆市场的领衔企业，因此PlanOptik推出世界首个直径为300mm的玻璃晶圆产品生产线，......
Numerical solutions could not perform rapid system-level simulation of the behavior of micro-electro-mechanical systems(......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
射频MEMS器件与MEMS系统由于能够满足空中通信领域中轻型化、高可靠及低成本的需求,并且具有加强系统稳定性和减少功耗方面的优势,......
随着微机械加工技术水平和微电子技术水平的提高,微机电系统得到了长足发展,能源供电装置是微机电系统中重要的组成部分,普通能源......
基于微机电系统(MEMS)技术的可调微镜在通信、计算、投影、成像等领域具有较好的发展趋势。微驱动器作为一种驱动机构,为实现微镜......
