在半导体行业和精密加工领域中,已有的夹持方法渐渐无法继续满足要求,研究探索新的非接触夹持方法成为亟需。超声波近场悬浮(Near-......

超声近场悬浮(Near Field Acoustic Levitation简称NFAL)是一种利用高能量密度的超声波作用于面密度较小的物体使其在声源上方一个......

应用可压缩气体动力润滑理论建立了柔性铰链超声挤压膜滑块的动、静特性系数模型,并应用数值方法对模型进行求解,获得了高频激励条......

在精密与超精密加工领域,如半导体产业中,对产品表面光洁度和工作空间的洁净度要求越来越严格。尤其在晶圆的夹持与运输工程中,已......

非接触技术在生物学、化学、空间材料学、气体减摩润滑、MEMS等领域有着重要的应用价值。在超精密制造领域,如晶圆、硅片的制造与......