超精密定位相关论文
应用光学理论分析了一种纳米级位移分辨率的双级衍射光栅测量系统，建立了衍射叠栅信号与对应位移的数学模型，并通过计算机仿真对叠栅......
在光学理论基础上，对反射型双光栅检测系统进行了研究。建立了以反射叠栅信号及其相应位移为对象的数学模型，并利用Matlab 软件对反......
应用光学理论分析了一种纳米级位移分辨率的双级衍射光栅测量系统, 建立了衍射叠栅信号与对应位移的数学模型。在此基础上设计了基......
针对单级驱动系统难以同时实现大行程与超精密定位的问题,设计一种基于滚珠丝杠与液体静压导轨的超精密大行程进给系统实验台.无框......
本文介绍光纤对接(包括光纤与光纤的对接和光纤与有源器件的对接)的基本原理及特点,根据其特点,介绍了超精密定位与检测技术在......
为了进行超精密定位，人们提出了运用扭轮摩擦传动。该文针对这种结构对其传动原理与动力学特性进行了分析，得出了新的结论。提供扭轮......
对压电陶瓷微位移驱动器用于超精密二维柔性微定位系统的几个关键技术进行了理论分析和实验研究,并得到了二维微定位系统的双向静......
通过分析滚珠丝杠驱动机构的特点,对目前利用这种驱动方式实现大行程的具有纳米分辨率的定位系统的关键技术进行论述。
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<正> 几年前,将质量100kg以下的物体移动1m的距离,就可容易地以几nm的精度对目标进行定位,这样的超精密定位技术实际上已应用于制......
提出了一种新的超精密定位方法,该方法基于修正莫尔技术,以衍射光栅作为定位标记,可有效提高位置检测信号的灵敏度,且结构简单.建......
针对精密定位装置存在非线性，精确数学模型难于建立的缺陷，提出了精密定位的神经网络控制方法．将BP神经网络应用于该控制系统中，系统以......
在许多高技术领域需要超精密工作台作为其技术支持.就电磁式工作台、直线电机式工作台、压电式工作台、摩擦驱动式工作台、MEMS工......
针对超精密金属切削加工开发了一款基于音圈电机驱动的纳米级空气静压工作台,阐述了它的工作原理、结构配置以及驱动与控制系统设......
在分析对比了两种典型柔性铰链机构运动特性的基础上,设计了一种无耦合位移、应力集中低的改进复合双平行四杆机构,并用该机构构成......
研究了具有宏微两级驱动双定位工作台的控制技术,该工作台采用直线电机进行大位移驱动,来保证较大的工作行程和较快的响应速度,而......
介绍精密超精密定位技术的基本概念，目前国内外所能达到的定位精度水平和定位系统的构成，并对实现超精密定位的关键技术进行分析和讨......
针对超精密定位系统对定位精度的要求,研究智能PID控制技术,以提高系统的定位精度。研究对象是采用宏/微双伺服驱动系统中由压电陶......
为了进行超精密定位，我们提出了运用扭轮摩擦传动。要提高常规的扭轮摩擦驱动的定位精度，所提出的方案有两个主要特征：（１）主动轴与从动轴......
在分析2种控制不足的基础上，提出了基于指数趋近-变速趋近-饱和切换函数的混舍趋近控制律，并进行了对比仿真试验分析和实验研究。结......
将压电作动器置入滚珠丝杠驱动系统，可以灵活地控制滚珠丝杠的预紧力和运动；在伺服电动机粗定位的基础上，可以实现纳米级精确定位；通过......
利用激光莫尔技术设计了一种超精密定位装置,系统以工业控制计算机为核心,通过光、机、电的有机结合,可实现高精度位置检测及精密......
对压电陶瓷微位移驱动器用于超精密二维柔性微定位系统的几个关键技术进行了理论分析和实验研究，并得到了二维微定位系统的双向静态......
简单介绍压电元件和柔性铰链的概念与特点。列举压电元件与柔性铰链机构结构实现超精密定位的典型例子，包括超精密测量、超精密加工......
介绍了一种采用叠栅信号实现超精密定位的定位方法,首先建立了衍射叠栅信号和相对位移关系的数学模型,并在MATLAB仿真软件的辅助下......
针对超精密传动机构定位精度高、行程大、运行平稳、激励振动小、系统可靠性高的要求,设计了一种双圆弧型驱动轮摩擦副的超精密摩......
多自由度短行程超精密平面电机具有高精度、高速度、高频响等优点,在半导体光刻加工、超精密测量、生物芯片技术等现代精密、超精......
为了进行超精密定位，人们提出了运用扭轮摩擦传动，本文针对这种传动原理与动力学特性进行了分析，得出了新的结论。......
为了进行超精密定位，人们提出了运用扭轮摩擦传动。本文针对这种结构对其传动原理与动力学特性进行了分析，得出了新的结论。
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在精密加工、航天工程等高精度领域,如何实现超精密的驱动定位或对高精度仪器设备的微振动隔振是一个重要的研究课题。为了实现高......
IC制造业是高科技产业的代表,受到世界各国日益重视,其核心指标是光刻机的线宽和产片率。目前,随着这两项指标的提高,超精密定位技......
基板运动台是平板显示扫描光刻机最关键的分系统之一,其精度和稳定性直接影响光刻机的产率、Overlay和成像质量。与IC前道光刻机的......
