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针对高精度星敏感器在地面标定实验中与测试设备准确对接的实际要求, 设计一种纳米级星敏感器标定用五维微调整机构.详细分析了光......
应用光学理论分析了一种纳米级位移分辨率的双级衍射光栅测量系统，建立了衍射叠栅信号与对应位移的数学模型，并通过计算机仿真对叠栅......
通过分析滚珠丝杠驱动机构的特点,对目前利用这种驱动方式实现大行程的具有纳米分辨率的定位系统的关键技术进行论述。
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摘要： 介绍了现有的微小光斑测量技术，针对纳米分辨率检测精度要求，对纳米分辨微小光斑光强分布检测技术进行深入研究，设计和构建了具......
基于共焦显微成象原理 ,提出了一种由自聚焦透镜和 X型光纤组成的高精度反射式自聚焦光纤传感器 .该传感器具有绝对位置跟踪的特殊......
研发人员介绍,这台22纳米分辨率光刻机在加工大口径薄膜镜、超导纳米线单光子探测器等纳米功能器件上具有明显优势。但是,这台光刻......
超磁致伸缩致动器具有应变大、推进力大、快速响应、纳米分辨率等优点，在超精密定位、机器人、减震控制等领域有着广阔的应用前景。......
全柔性机构是一种新型机构,通过采用免装配、无间隙和无摩擦的设计方式可实现微米级甚至纳米级的高精度。其重要的应用之一是可作......
用横向塞曼激光作光源构成的 Dammann光栅多普勒干涉仪有利于降低热膨胀影响 ,测量过程中干涉臂长不变、便于克服折射率漂移 ,具有......
