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在航空航天、光学、微电子等领域中的核心器件呈现出结构复杂化、小型化、高加工要求化等发展趋势以增强其功能特性并减小特征尺寸......
近年来,超精密加工技术成为航空、深空探测、光电显示等领域的技术支撑,超精密加工零件在军事、民用等领域出现了大量需求;作为实......
随着各种高精度零件在航空航天、武器装备、电子信息及生物医学领域的应用，精密和超精密加工技术越来越受到世界各国的重视，目前已成......
硅片超精密磨床是半导体集成电路(IC)制造中的关键装备,主要应用于IC制程中的硅片制备加工和IC后道制程中图形硅片的背面减薄。国......
对自主研制的T形结构超精密磨床进行改装,在超精密磨床的转台上安装单点金刚石圆弧车刀,进行了超精密车削试验研究。对超精密磨床......
采用CAD／CAE集成技术，在CATIA和ANSYSWorkbench软件平台上建立了超精密磨床床身的CAD三维模型和有限元模型，对其结构进行了动态分析与......
空间光学的快速发展对大口径非球面反射镜的需求不断增强,受运输、安装和使用条件的限制,空间大镜往往采用质量轻、稳定性强的SiC......
硅片超精密磨床是半导体集成电路(IC)制造中的关键设备,主要应用在大直径硅片制造和背面减薄加工中。在硅片超精密磨削加工中,为提......
