超薄微梁相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

超薄微梁相关论文

多晶硅纳米膜压阻超薄微梁加速度敏感结构

随着微机电系统（MEMS）技术的迅速发展，硅基加速度传感器已经得到广泛应用。但在敏感结构设计中，普遍存在灵敏度与固有谐振频率相互制约......

期刊

加速度传感器多晶硅纳米膜压阻式超薄微梁谐振频率 acceleration sensor polysilicon nanofilms piezoresis

多晶硅纳米膜加速度传感器结构研究

论文简述了微电子机械系统(MEMS)技术的发展概况,分析了国内外硅微压阻式加速度传感器研究取得的成果。详细介绍了超薄微梁压阻式......

学位

加速度传感器多晶硅纳米膜压阻式超薄微梁谐振频率

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