压阻式相关论文
为解决硅压阻式压力芯片灵敏度随着温度变化发生漂移的问题，设计了一种在片上集成温度补偿结构的压力芯片。在压力芯片上制备电阻温......
利用硅微材料的压阻效应，结合微机电系统（MEMS）加工技术，设计一种高g值压阻式加速度传感器结构，主要应用于爆炸、冲击测试以及引信侵彻......
触觉信息对于人们认识物质和感知世界有着非常重要的意义。柔性触觉传感器在智能机器人和生物医疗等领域也得到了广泛的应用。目前......
本文是根据传感器在实际工程遇到的可靠性问题为研究背景,以在航天、航空、船舶、兵器、电子、工业等各领域应用较为普遍的压阻式......
近十几年以来,柔性可穿戴传感设备因自身巨大的实际应用潜力吸引了大量研究者的兴趣。通过设计导电微结构的方式,使得传感器件的灵......
摘要：压力变送器已经被广泛应用于地质勘探、石材、机械、汽车及国防工业等行业，相继出现过电阻式、扩散硅式、陶磁式压力变送器，并逐......
为了实现“治已病”向“治未病”的转变,用于人体健康监测的智能传感技术亟待研究.人体脉搏包含丰富的心血管系统参数,历来是临床......
本文介绍了为爆炸冲击波测量开发的压阻式高频动态高压传感器和压阻式高频动态低压传感器的设计.及其在冲击波测量中的应用,对超近......
本文介绍了陶瓷电容式压力变送器的原理、特点及参数,给出了压力变送器的核心器件传感器的综合数据。
This paper introduces the......
扩散硅压力传感器是利用半导体单晶硅的压阻原理制成的压力传感器,具有精度高、尺寸小,长期稳定性好等优点,广泛用于流体压力、液......
笔者在刚刚于西班牙巴塞罗那结束的国际固态传感器大会Transducers 2013上担任了压力传感器Session的主席,对现场七个口头报告有了......
基于近年来国防事业、工业、环保、自控的需要,本文对具有自检测功能的复合量程压阻式加速度传感器阵列进行了研究。该项研究的特......
本文提出一种微型双模式耐蚀压力传感器设计并分析其测试特性，能够实现静态力和瞬时力的同步测量。该传感器由基于低温共烧陶瓷的压......
目前,传感器在汽车上的数量越来越多,同时,发动机电控系统对传感器的外形、性能、功耗、响应速度、精度等要求也越来越高。MEMS传......
为了消除轧钢加热炉压阻式微压传感器在其运行状况中受温度因素干扰的影响,采用信息融合技术来进行压力测量过程中的温度补偿,结果......
在同一个物理过程中往往存在相差上数十倍甚至上万倍的多个加速度值需要测量，例如，分析弹体在发射和飞行过程中的受力情况，既需要测试......
为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏，需要在结构中合理设计阻尼．设计了一个复合量程压阻式微加速度计，为了使结构中......
采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了SOI技术高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片；通过动力学分析和有限元模拟，研制出了具......
介绍了一种新型的基于压阻效应的硅微仿生矢量水听器,详细叙述了该矢量水听器的结构设计方法,利用有限元软件ANSYS对矢量水听器结......
为了解决现有三轴加速度计机械精度差的问题,提出了一种基于SOI的单质量块三轴压阻微加速度计。采用四边四梁结构,根据梁上扩散的......
为了研究泥沙掩埋对压阻式压力传感器的影响,对传感器在不同泥沙、不同掩埋深度下的动态特性进行了测量,发现泥沙掩埋前后及不同泥......
为了避免高g值压阻加速度计在工作过程中出现结构易损坏、响应信号精准度低的问题,需要在设计过程中合理调整阻尼参数。基于高g值......
提出一种可消除热零点漂移的压阻式压力传感器。该传感器由两个压阻半桥构成。两个“半桥”受力时输出信号的极性相反,而零压时输......
对压阻式复合惯性加速度传感器的惯性变换系统的结构、特性、工作原理进行了分析讨论,建立了数学模型,所设计的惯性式弹性敏感元件......
针对动态校准过程中,压阻式高g值加速度计出现动态特性欠佳的情况,用实例与建模仿真相结合的方法,分析了阻尼对压阻式高g值加速度......
使用有限元方法,分析了压力传感器力敏电阻条工作时的自身发热对传感器零点输出的影响,结果表明:由于电阻工作时的发热引起传感器......
介绍了一种新型金刚石高温压力传感器的优化设计方法.采用薄板弯曲理论研究了均匀载荷作用下多晶金刚石方膜在小挠度和大挠度下的......
介绍了一种流速传感器的工作原理、结构设计和关键工艺。该传感器基于毕托管的工作原理来测量流速,采用压阻式差压传感器测量流体......
基于压阻效应的叠加电桥检测法加速度传感器采用超对称＂八悬臂梁—质量块＂结构,构成惠斯通电桥的力敏电阻器布放在悬臂梁的两端,4个......
简介了一种新型绝缘体上硅(SOI)高声压噪声传感器。主要对提升噪声传感器关键指标的感声膜结构的设计过程进行了仿真和计算,利用AN......
由于金刚石薄膜具有优良的高温压阻特性,适合于制作高温压力传感器。在Φ50mm〈100〉硅单晶衬底上用热丝CVD法生长本征多晶金刚石......
介绍了星用高精度压力传感器的技术要求、工作原理、结构设计与电路设计及试验结果；对研制过程中的关键技术及解决方法进行了探讨．传......
固有频率对硅加速度计的性能影响很大。针对目前硅加速度计的固有频率计算公式误差大的缺点，利用力学原理推导了悬臂梁式和双端梁式......
提出了一种基于Si压阻效应的新型MEMS气体传感器，其结构主要是由制作在Si薄膜表面的惠斯通电桥和在Si薄膜表面淀积的一层聚合物气敏......
通过实验对压力传感器的温度效应进行了研究.结果表明,当温度在低温范围内变化时,压力传感器的零点输出有较大的变化,但输出特性仍......
在过去对技术系统的设计优化通常是根据设计者自己的经验，通过改变一个系统参数来分析系统性能。但随着系统参数的日益增加，这种类型......
针对装备智能化与监测系统无线化发展对振动传感器的要求,基于微机电系统和应力集中技术,提出并研制一种具有孔缝双桥结构的高灵敏......
基于微机电系统（MEMS）技术的加速度传感器因其性价比高、易于集成化而得到广泛应用,但在普通MEMS加速度敏感结构中仍然存在灵敏度和......
通过对含油封装压阻式压力传感器的结构和工作时的受力状态分析，给出了管座的2种失效模式，即密封性差导致的内充液体的泄漏和管座的......
微压力传感器是微机电领域最早开始研究并且实用化的微器件之一,它结构简单、用途广。基于压阻效应、惠斯顿电桥等相关知识设计了......
随着微机电系统（MEMS）技术的迅速发展，硅基加速度传感器已经得到广泛应用。但在敏感结构设计中，普遍存在灵敏度与固有谐振频率相互制约......
液体密度的测量对于工业应用和研究有着极其重要的作用,通过对液体密度测量可以计算得到其他有用的信息。为了满足高精度、便携、......
介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装 ,还较详细地介绍了静态和动态特性的测量和结果。为提高......
