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用于相变存储器的硫系化合物及器件研究
从2001年intel在IEDM发表第一篇相变存储器的论文到2005年samsung在VLSI发表256M的PCRAM的实验数据,相变存储器的发展迅猛。Intel甚......
学位
硫系化合物
相变存储器
边接触结构
氮掺杂
硅掺杂
热稳定性
Ge2Sb2Te5
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