化学增幅抗蚀剂相关论文
微电子技术可算得上是人类有年史以来最卓越的技术，微电子技术的发展迅猛异常，迄今为止，在人类的科学技术史还没有一种技术象它这样地......
介绍了酸增殖机理、酸增殖源的种类、典型化合物在化学增幅抗蚀剂体系中的应用及对灵敏度的提高,提出在计算机直接制版版材研究中......
本文综述了能有效提高化学增幅抗蚀剂体系感度的各种类型酸增殖剂及其酸增殖机理.对某些常用于光致抗蚀剂中的酸增殖剂的特性作了......
通过研究对甲苯磺酸酯空心酞菁的性质，发现该化合物在紫外光照射下可生酸，是一种光生酸剂．由于酞菁类化合物本身具有光催化氧化反应的......
