金属剥离相关论文
简述了SiC功率器件制造工艺流程,对常用的抛光片清洗、RCA清洗、SPM湿法去胶、有机去胶、SiO2腐蚀、金属腐蚀和金属剥离等湿法设备......
石墨烯是一种由碳原子紧密堆积排列的二维单层材料。石墨烯具有优异的光、电、力等特性,被认为是在未来具有颠覆性的材料。单层到......
对农机具进行必要的技术保养,使其恢复原来的技术状态.是延长机具的使用寿命的最佳选择。特别是从事农田作业的农机具,当农田作业结束......
开发了一套OHR(OverhangResist)技术。在原来剥离工艺的基础上,增加苯处理和高温烘烤工艺,使光刻胶掩膜既保持有利于剥离的形状,腐......
拖拉机由于受农时季节的限制,一年中有很长时间处于闲置状态,在此期间如果不采取技术措施进行科学保管,那么机器技术状态恶化速度比工......
LED加工工序中,需要对晶圆表面进行去胶处理。针对LED去胶工序研究了一种去胶方法,并开发出了一种享有专利的晶圆表面金属剥离及光......
针对声表面波(SAW)传感器对品质因数、寿命和成本的要求,研制了Parylene增强型SAW传感器。根据金属剥离工艺要求,利用LOR剥离胶和A......