铂薄膜相关论文
研究了退火温度对铂薄膜微观结构和电学性能的影响.在高曲率微小金属探针表面原位制造铂薄膜温度探测器,在450,500,550℃条件下进......
封装可以保护铂薄膜电阻温度传感器避免机械损伤,减弱薄膜高温下热挥发和团聚现象,提升器件综合性能.设计了一种玻璃釉料/高温陶瓷......
聚焦离子束(FIB)是进行亚微米及深亚微米器件进行微分析和微加工研究的强有力工具。FIB淀积Pt薄膜是FIB集成电路修改的基本手段之......
风速风向传感器是一种应用极为广泛的传感器,人们在很多场合下迫切需要灵敏度高、携带方便和成本较低的新型风速风向传感器。基于M......
聚焦离子束（FIB）淀积Pt薄膜是FIB集成电路修改的基本手段之一。对FIB不同束流下淀积的Pt薄膜的性质,如厚度、体积、淀积速率、成份以......
以N2、O2作载气,采用催化增强化学气相沉积（CECVD）法,于250～300℃和减压/常压下制得沉积于聚酰亚胺（PI）上的Pt,Pd/Pt和Pt/Pd金属双层薄......
生物电极中微导线的引出质量决定其使用可靠性。建立硅基生物电极铂薄膜和铂铱合金线平行间隙焊过程的有限元模型,研究焊接参数（焊......
根据薄膜理论和通过成膜工艺实验，研究了影响铂薄膜电阻温度系数的主要因素。１）对铂靶材料的纯度要求高，含杂质极少；２）淀积薄膜要有一定厚......
以乙酰丙酮铂为沉积源物质 ,采用金属有机化合物化学气相沉积 (MOCVD )法在Mo基体上制备了Pt薄膜。研究了Pt薄膜的沉积速率与基体......
基于微机电系统技术,在柔性聚酰亚胺(PI)基底上分别制作弓形与蛇形两种结构的铜薄膜与铂薄膜温度传感器。采用红外成像设备对传感......
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铂(Pt)是温度传感器常见的敏感材料。为了改善退火工艺提高Pt薄膜的电学特性,采用射频磁控溅射法在蓝宝石衬底上制备了以钽(Ta)为......
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