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铝纳米线栅阵列相关论文
周期性微偏振片阵列特性研究
本文主要研究周期性微偏振片阵列的制备与偏振特性。首先采用电子束光刻技术制备周期性的铝纳米线栅阵列,其次利用聚焦离子束刻蚀......
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微偏振片
聚焦离子束刻蚀
电子束光刻
铝纳米线栅阵列
偏振性能
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