聚焦离子束刻蚀相关论文
红外偏振成像技术在天文、医学、军工等领域发挥着关键作用,具有重要的研究价值和应用前景。目前,红外器件技术已经非常成熟,但传......
本文运用离子束辅助技术(IAD)在人工植入2umSiO2小球的基板上镀制两种不同厚度薄膜，对比薄膜中节瘤的损伤特性，发现膜厚对节瘤损伤特......
现代光学中，如何实现在纳米尺度上对光的调控是人们长期研究的问题，这对于能源和信息等领域的发展有着十分重要的研究意义。随着理论......
迄今为止,纳米加工技术的进步推动了微纳光学天线获得进一步的深入研究。通过光学天线可在微/纳米尺度上实现电磁波包括雷达波和光......
随着半导体技术的发展,集成电路上的CMOS器件尺寸越来越小。目前,进一步减小光刻的线宽在技术上难度越来越大,而随着器件的缩小,量......
光子晶格是一类由不同介质在光学波长相比拟的尺度上交替排列组成的微纳结构。与均匀介质不同，光子晶格中光的发射或传播行为会发生......
采用不同的方法裁剪高定向热解石墨(HOPG),制备纳米尺寸的石墨条.首先,发现用聚焦离子束(镓离子)刻蚀高定向热解石墨,可以得到边缘......
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利用原子力显微镜对聚焦离子束刻蚀技术制备的不同纵横比的氮化硅纳米梁结构进行了弯曲测试，并讨论了一种标定原子力显微镜微悬臂梁......
原子力显微镜（AFM）摩擦力的标定是利用AFM测量微载荷下表面间摩擦力需要解决的一个难题。传统的Ogletree楔形标定法没有考虑表面黏着......
针对半导体发光管（LED）器件普遍存在的出光效率低下的问题，首次采用聚焦离子束技术成功地在GaN基发光器件上制备了GaN二维八重准晶光......
提出基于连续元胞自动机的聚焦离子束溅射刻蚀工艺模型,该模型可以有效引入实际工艺参数和扫描策略,建立溅射与再沉积方程,准确地......
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光子微结构是能够控制光子运动的微米、亚微米量级的结构,是目前国际上光学研究领域的前沿和热点之一,它通过人工方法在均匀的光学......
为了制作可用于通信波段的二维硅光子晶体波导,研究了光子晶体波导的设计方法及制作工艺。应用平面波展开法计算了两种空气孔型光......
发丝表面艺术指的是利用传统的手工微雕、微画工艺或先进的微纳米加工技术,在头发丝表面进行微观创作的艺术形式。根据不同的角度,......
偏振成像提供人类视觉系统无法察觉的偏振信息。当前高分辨率下的偏振成像传感器可以实现从线偏振光中提取一系列完整的偏振特性,......
近年来光通信与光计算技术正在飞速发展,光作为一种新兴的信息载体,控制光传输的技术显得越来越重要,低功耗、高速可调制、尺寸小......
