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铝钪氮相关论文
FBAR基紫外光传感器的研究与制备
随着信息化时代的发展,薄膜体声波谐振器(FBAR)具有体积小、高频和高Q值等优势,被广泛应用在射频和传感领域。紫外传感技术具有抗干......
学位
紫外传感器
薄膜体声波谐振器
氧化镓
氮化铝
铝钪氮
磁控溅射生长AlN及其合金的物性研究
进入二十一世纪,信息通讯高速发展,对于高传输速率大带宽的需求日益迫切,这不仅需要信息传输协议的不断优化,而且需要新型材料制备......
学位
氮化铝
铝钪氮
反应磁控溅射
声表面波
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