键合电压相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

键合电压相关论文

埋氧层及铝层对SOI／玻璃静电键合的影响

介绍了SOI／Pyrex玻璃静电键合的实验过程和实验现象，利用电流表对静电键合电流进行测量。发现埋氧层厚度越厚，键合电流越小，键合波扩散......

期刊

绝缘体上的硅阳极键合埋氧层键合电压 SOI anodic bonding buried oxide bonding voltage

埋氧层对SOI/玻璃键合的影响及其键合工艺的改进

运用阳极键合技术，对绝缘体上硅（SOI）／玻璃进行阳极键合实验，发现当埋氧层厚度超过500nm时，键合很难成功．分析了SOI埋氧层厚度对耗尽层电......

期刊

绝缘体上硅阳极键合埋氧层键合电压脉冲电源

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