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阴极真空弧沉积中MEVVA源两种工作状态的比较

介绍了阴极真空弧沉积中，弧源在阴极接地和阳极接地2种不同工作状态下的工作特性．发现阳极接地时，因沉积靶室入口法兰的第二阳极作用，......

期刊

阴极材料 MEVVA 等离子体源阳极电流阴极接地阳极接地靶室工作状态接地情况等离子体密度

阴极真实弧沉积中第二阳极现象研究

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会议

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