真空弧沉积相关论文
介绍了阴极真空弧沉积中,弧源在阴极接地和阳极接地两种不同工作状态下的工作特性.发现阳极接地时,因沉积靶室入口法兰的第二阳极......
介绍了阴极真空弧沉积中，弧源在阴极接地和阳极接地２种不同工作状态下的工作特性，发现阳极接地时，因沉积靶室入口法的第二阳极作用。聚......
在90°磁过滤管道和MEVVA源阴极之间加一30～60V的正偏压，可使磁过滤管道起到阴极弧放电第二阳极的作用.在此情况下对磁过滤管道......
通过对阳极真空弧沉积膜的背散射分析，测出沉积膜中阳极材料Ｗ含量不大于０．０４％，得出了起弧条件与Ｗ蒸发量的关系。......
