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洁净室静电危害主要有静电击穿和微粒子吸附两种。静电击穿产生的原因是静电放电(简称为ESD;E1ectro Static Discharge);微粒子吸附......
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薄膜晶体管液晶显示器(thinfilmtransistor-liquidcrystaldisplay,TFT-LCD)的制造工艺是一个复杂的过程,各个环节都可能发生静电击......
期刊
前言 电子工业企业中,由于生产工艺要求,不少埸合需要各种不同等级洁净度的生产、装配、调试、实验等房间和电子计算机房。这些埸......
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