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微流体系统作为微机电系统(MEMS)的一个重要分支,是指由微流道、驱动微泵、微阀、微传感器等元器件组成的高集成微系统。由于其具......
作为微电子机械系统(MEMS)的重要组成部分,微流体系统是指在微观尺寸下控制、操作和检测流体的技术。微泵作为微流体的核心器件,得......
针对现有静电微泵性能仿真存在耗时长、需要参数多的问题,建立一种简单、准确的用于描述微泵端点特性的模型.使用端点特性建模技术......
静电微泵具有能量密度高、响应时间短、能量消耗低等特点,在生物流体控制和电子器件热管理方面具有广泛的应用前景。利用柔性振膜......
对MEMS中应用广泛的静电微泵进行有限元建模分析.对于涉及多能量域下多场耦合的静电微泵建模,在仿真过程中进行了合理简化.其中在......
