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非硅相关论文

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三维微加工新技术--DEM技术研究

DEM技术 (Deepetching ,ElectroformingandMicroreplication )是继硅微加工技术和LIGA技术发展起来的一种全新的非硅三维微加工技......

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三维微加工新技术硅微加工技术微机电系统微复制模具技术吸收技术发展高深宽比非硅微结构硅材料产业化压出塑料开发基础工艺

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