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本文介绍了一种真空电弧离子溅射设备,该设备采用电弧激发阴极等离子体的方法可以将阴极靶材材料以离子的形式溅射至阳极基体表面.采用该设备在铌钨合金(Nb521)发动机喷管基体表面镀覆钼涂层,结合后续渗硅工艺制备的MoSi2涂层,经试验、试车验证,可以将耐高温抗氧化温度提高300℃以上.
真空电弧离子溅射设备技术研究
【摘 要】
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本文介绍了一种真空电弧离子溅射设备,该设备采用电弧激发阴极等离子体的方法可以将阴极靶材材料以离子的形式溅射至阳极基体表面.采用该设备在铌钨合金(Nb521)发动机喷管基
【机 构】
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西安航天发动机厂特种装备研究所
【出 处】
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2017航天先进制造技术国际研讨会
【发表日期】
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2017年6期
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