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研究了应用于柔性不锈钢衬底非晶硅太阳电池的Ag/ZnO背反射电极的表面形貌、结构特性。SEM和XRD的研究结果表明，Ag为(111)晶向优先取向，ZnO为(002)晶向优先取向，衍射峰强度与表面粗糙度之间存在对应关系。Ag/ZnO背反射电极所形成的陷光结构使太阳电池的短路电流密度提高了3mA/cm2以上，但会造成开路电压、填充因子的下降。优化后的非晶硅太阳电池效率达到8.74％(AM0，1353W/m2)。