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利用LP-MOCVD 生长技术,采用Zn(C2H5)2 作Zn 源和H2O 作氧源,使用硼烷为掺杂气体，制备出了光电特性稳定的较低电阻率、高透过率的氧化锌薄膜。在薄膜面积10cm×10cm 范围内，厚度为5500. 时，方块电阻为40Ω，透过率>85﹪，迁移率为8.56cm2/Vs。应用于非晶硅电池背反射电极后，显著提高了电池的短路电流，从而提高了电池效率。