切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
会议论文
硅片的背面处理
硅片的背面处理
来源 :第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:oyyc4011
【摘 要】
:
抛光硅片的背面处理起吸除器件区重金属杂质和减少晶格缺陷的作用。该文用SEM、TEM和光学显微镜研究硅片背面的机械损伤、软损伤和多晶硅,分析了这些背面处理的吸杂机理。
【作 者】
:
闵靖
邹子英
吴晓虹
【机 构】
:
市计量测试技术研究院,上海微电子分析测试重点实验室
【出 处】
:
第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
【发表日期】
:
1999年期
【关键词】
:
抛光硅片
重金属杂质
光学显微镜
晶格缺陷
机械损伤
处理
软损伤
多晶硅
吸杂
器件
机理
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
抛光硅片的背面处理起吸除器件区重金属杂质和减少晶格缺陷的作用。该文用SEM、TEM和光学显微镜研究硅片背面的机械损伤、软损伤和多晶硅,分析了这些背面处理的吸杂机理。
其他文献
SOI区熔再结晶技术中硅膜熔化收球问题的研究
会议
区熔
再结晶技术
硅膜
熔化
树立经营理念 适应市场发展
社会主义市场经济的建立和逐步发展,决定了新闻媒体之间的竞争日趋激烈,“优胜劣汰”这一千古不变的生存法则在竞争中越发显现出它的无情。我国的新闻媒体尽管不能以盈利为
期刊
放下架子
生存法则
舆论导向
中国质量万里行
受众
《今日说法》
焦点访谈
娱乐频道
以人为本
媒体内容
硅钼蓝光度法测定除油液中硅酸钠
本文采用硅钼蓝光度法,测定镀前除油槽中的硅酸油,使分析时间明显缩短,极大简化了操作条件,完全可以满足测定要求.
会议
硅钼蓝光度法
光度法测定
除油液
分析时间
操作条件
油槽
缩短
酸油
a—Si:H阳光电池工艺与性能关系浅析
会议
光电池
工艺与性能
粳型两系杂交水稻恢复系的选育与应用初报
通过杂交、辐射诱变、自然变异选择等手段培育出了R9─1、R1831、R187等有实用价值的粳型两系杂交稻恢复系,1992~1993年用R9─1、R187、R183等与粳型光敏核不育系N5088S、7001S制种333.3hm ̄2,示范10000hm ̄2左右,成为我省首批应用于生产的粳型两
期刊
粳型
恢复系
两系杂交稻
两系杂交水稻
核不育系
两系法
自然变异
白叶枯病
杂交组合
多点试种
掺杂12硅钼酸的二氧化硅薄膜修饰电极的氧化还原性质及其对亚硝酸根还原反应的电催化作用
会议
掺杂
硅钼酸
二氧化硅
薄膜修饰电极
氧化还原性质
亚硝酸根
还原反应
硅纳米线的显微结构及生长机理研究
利用扫描和透射电子显微学方法,分别研究了镀金和抛光硅衬底上生成的不同形态纳米硅线.在汽-液-固三相转变生长机制(VLS)的热力学理论分析基础上,揭示了镀金硅衬底上的纳米线
会议
硅纳米线
显微结构
生长机理
形状记忆合金的阻尼性能
在过去的20年里,形状记忆合金已被有效的应用到了许多领域。这主要是因为这种材料具有一种独特的性能,即它能在相当大的变形之后通过恢复其组织结构而恢复其原有尺寸及形状。然而
会议
镍钛形状记忆合金
马氏体相变
阻尼性能
应力诱导
组织结构
行为研究
多领域
应用
系统
取向
描述
工业
尺寸
材料
变形
硅抛光片氧化诱生缺陷的形成机理
会议
硅抛光片
氧化诱生缺陷
硅纳米线拉曼光谱的激发波长依赖现象与共振尺寸选择效应
会议
硅纳米
拉曼光谱
激发波长
共振尺寸
与本文相关的学术论文