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采用电弧离子镀工艺制备CrAlSiN 薄膜，研究了不通氮气流量下薄膜微观形貌、组织结构以及薄膜性能的变化。采用扫描电子显微镜、X 射线衍射仪测试薄膜的表面形貌特征以及组织结构；采用硬度仪和摩擦磨损机测试薄膜的性能。实验结果表明，用此方法制备的CrAlSiN 薄膜为弱结晶相，工作气压对膜基表面形貌和沉积速率及薄膜性能影响显著；膜层表面形貌随工作气压升高而变平整，表面显微硬度、沉积速率随工作气压升高而升高。