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高度可溶纳米金刚石颗粒引晶法制备纳米金刚石薄膜
高度可溶纳米金刚石颗粒引晶法制备纳米金刚石薄膜
来源 :第十五届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:V13_ywj
【摘 要】
:
在异质衬底如硅片上制备纳米金刚石薄膜,需要对衬底预处理来提高成核密度。在衬底表面旋涂尽可能多的纳米金刚石颗粒,作为外延生长的籽晶,就是有效的办法之一。
【作 者】
:
赵申洁
【机 构】
:
上海大学材料科学与工程学院
【出 处】
:
第十五届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
:
2016年12期
【关键词】
:
纳米金刚石
引晶
成核密度
分散性
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在异质衬底如硅片上制备纳米金刚石薄膜,需要对衬底预处理来提高成核密度。在衬底表面旋涂尽可能多的纳米金刚石颗粒,作为外延生长的籽晶,就是有效的办法之一。
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