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参数化纳秒脉冲电源及其应用
【机 构】
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西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室,西安710049
【出 处】
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第五届全国工业等离子体会议暨第五届高离化磁控多弧技术研讨会及第二届 PVD 企校合作高层论坛
【发表日期】
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2017年12期
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