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采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在不锈钢柔性衬底上制备了系列非晶硅/微晶硅叠层电池，通过调节子电池本征层厚度实现子电池间的电流匹配。量子效率(QE)和I-V测试结果表明：当微晶硅底电池和非晶硅项电池厚度分别保持在1500 nm和200 m左右时，电流匹配良好。在此基础上，制备了不同厚度的硅基p+/n+隧穿结，应用于非晶硅/微晶硅叠层太阳电池，分析了其对太阳电池电学和光学特性的影响。并将优化后的p+/n+隧穿结应用于不锈钢衬底和聚酰亚胺衬底的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池，分别获得了9.95％和9.35％的光电转换效率(AMO，1353 w/m2)。