油液监测是设备故障诊断的一种有效方法。通过对润滑油理化性能指标的评价和润滑油中磨损颗粒的分析，实现润滑油的按质换油和机器的预知性维修，减少了定期换油带来的浪费和设备维修的费用。随着油液监测技术的发展，传统的离线监测已不能满足使用要求，在线监测技术已经是一种不可或缺的技术手段，而传感器正是油液监测的核心部件。基于电感测量的磨粒监测传感器可以有效监测磨损颗粒，为机器的预知维修提供依据。本文提出了一种平面线圈型的传感器用于监测油液中的铁磁性颗粒，为油液监测提供了一种新的检测元件。本文采用光刻及腐蚀工艺在基体上加工出平面线圈，用Ansoft有限元分析软件对平面线圈进行了磁场仿真，得出平面线圈的磁感应强度分布规律，设计了相应的测量电路，包括信号发生电路、转换电桥、整流电路、滤波电路、放大电路，并且制作成PCB板，对传感器的性能进行了测试。测量了传感器对铁颗粒、铜颗粒、二氧化硅颗粒、钡铁氧体颗粒的输出情况，发现传感器对铁颗粒最敏感。由于实际油液中的颗粒含量比较少，需要提高平面线圈型传感器的灵敏度，从线圈匝数、磁芯、线圈层数、线圈尺寸、测量电路几个角度进行了分析，得到提高灵敏度的方法。目前传感器的灵敏度为18.091V/g，分辨率为5mg，测量范围为0~0.1g，并且通过后续的优化，可以进一步提高灵敏度。平面线圈电感式传感器可以有效测量铁磁性颗粒。最后搭建了简易的油液在线监测平台，对油液中的铁磁性颗粒进行了测试。实验结果表明，平面线圈传感器可以测量含有一定铁磁性颗粒浓度的润滑油。