铌酸锂退火质子交换波导的制作和研究

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集成光学型光纤陀螺是研制中、高精度光纤陀螺发展的基本方向,铌酸锂退火质子交换波导是构造集成光学芯片的关键技术.该文首先解释了光纤陀螺的基本原理,然后讨论了衬底材料铌酸锂的物理特性.接着从质子交换平面波导入手,由棱镜耦合法测得波导的模式有效折射率,并用IWKB法拟合了折射率的分布,对质子交换和退火的特性进行了分析.进一步采用X-射线衍射法对质子交换波导的晶格结构进行了分析,指出晶格的畸变与折射率的改变密切相关.文中还从物理机制上探讨了折射率改变的机理.最后,在实验上探索出了单模条波导的制作工艺,并对单模波导进行了通光测试.
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