主成分分析法研究换能系统与键合点相互作用规律

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本文主要工作是对影响键合过程的主要因素进行研究。通过在不同键合温度和超声功率设置下的大量键合实验,采集了换能杆末端轴向振动速度信号和换能系统两端驱动电压、电流信号;测量了键合点的长轴、短轴长度;计算了换能杆末端轴向振动幅度、换能系统的驱动电功率和键合点面积;测试了键合剪切强度。利用主成分分析法对上述能较完整描述键合过程的九个参数进行分析,得到了影响键合过程的三个主要因素并讨论了它们的物理意义。本文主要工作包括:(1)通过对不同键合温度和超声功率设置下大量键合实验的分析,发现了键合过程中热能场与机械能场间的耦合及其表观现象。即当其他键合参数改变时,单一参数对键合强度、换能系统驱动电信号和换能杆末端振动振幅的影响存在不同规律。(2)介绍了主成分分析法的基本原理。运用Matlab主成分分析程序对键合参数进行研究。结果显示前三个主成分包含了原数据的绝大部分信息,其余主成分可以忽略。这三个主成分代表键合过程中三个主要因素,其中第一主成分能体现键合过程中换能系统机械能量;第二主成分能体现键合过程中温度因素;第三主成分能体现键合点状态对换能系统的反作用。(3)对不同键合时段的键合参数进行了主成分分析,结果显示键合加载段和平稳段的参数更适合进行主成分分析。本文的研究为认识键合过程、了解键合机理提供了参考。
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