【摘 要】
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该文系统地研究了混合气体(Cl/Xe)介质阻挡放电(DBD)中气体、电源特性及电极结构和冷却方式等因素对放电特征、准分子XeCl主辐射(308nm)强度及相对转换效率的影响.气体Cl/Xe
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该文系统地研究了混合气体(Cl<,2>/Xe)介质阻挡放电(DBD)中气体、电源特性及电极结构和冷却方式等因素对放电特征、准分子XeCl<*>主辐射(308nm)强度及相对转换效率的影响.气体Cl<,2>/Xe比例不同,放电形貌、准分子主辐射强度及光谱特征有较大的差异.含Cl<,2>低的混合气体放电的形貌为混合放电特征即辉光背景中稀疏的丝状放电,这种放电状态不能激发强的紫外辐射.放电起始电压随气体中Cl<,2>的增加而增加,放电丝变得更细,并且准分子紫外辐射峰值所对应的气压向高气压端移动.在一定的电源功率和合适的气体比例、气压条件下,利用同轴石英套管介质阻挡放电可产生强而高效的准分子紫外辐射,并且准分子主辐射带的宽度(FWHW)可达到2nm左右.He/Cl<,2>/Xe中放电也显示出混合放电的特征,准分子辐射的强度要明显的小于混合气体Cl<,2>/Xe放电辐射的强度.DBD丝状放电通道中具有较高的电子密度,Xe原子发生分步激发、电离的几率远高于辉光放电,通道中准分子主要的形成途径是离子碰撞复合反应.
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