【摘 要】
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该文作者研制了一台高精度的直线度测量仪器,与其它常用的直线度测量装置相比,具有精度高、分辨率高、使用方便等特点,只要将仪器放置在被测物体上,并让仪器的光靶沿被测工件
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该文作者研制了一台高精度的直线度测量仪器,与其它常用的直线度测量装置相比,具有精度高、分辨率高、使用方便等特点,只要将仪器放置在被测物体上,并让仪器的光靶沿被测工件表面移动,仪器就可自动显示偏差值并将数据通讯给计算机评定出直线度误差值.我们用该仪器测量了3米长精密导轨等工件的直线度误差,实验结果表明仪器的分辨率达到1μm,测量精度达±3μm/m.
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