用于半导体工业的特种气体,又称电子气,在半导体器件生产过程中由气源柜控制与输送。近几年来,随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气市场需求明显增长,对于气源柜的需求越来越大。如何在保证气源的使用安全的前提下,提高生产效率,方便客户操作,是特种气体气源柜设计的关键。论文根据特种气体的性质,使用环境,进行气源柜的研发,重点研究了半导体行业特种气体气源柜的总体方案设计,包括整体产品的设计构思,总体布局,气体防泄漏设计,惰性气体保护设计,确定了整机的结构构成；增加了低压连续吹扫系统,选用自动焊接工艺进行管线连接,加强密封保护措施,在安全性以及外观性方面同时改善,使其适应市场的需求；运用气体流量计算,使气源输出气体更精准；针对气体特殊性质,进行真空测试和压力测试和可靠性试验与分析,解决了该产品难点,并最终达到设计要求,成为国内半导体行业中的领先产品。