目前，在机械、化工、能源、航空、轻工等行业普遍存在着这样的一类问题，即在表面粗糙度Ra3.2～6.4μm的基础上，需要进行光整加工，使粗糙度达到Ra0.1μm以下，并有较高的生产率和良好的表面质量。由于目前的加工方法主要是机械光整加工，存在着加工质量差、生产率低、成本高的问题。因此，需要探讨一种新的加工工艺来达到上述目标。 本论文探讨了电化学机械光整加工工艺的机理，分析了各主要加工参数对加工效果的影响，对各个加工参数进行了单因素实验，并通过正交实验，优化选择了主要参数。对于轴类零件的电化学机械光整加工取得了良好的效果。为了将电化学机械光整加工工艺应用于复杂型面加工，对电化学机械光整加工齿轮表面的加工原理和加工工具进行了研究，选择了齿轮的加工运动方式，设计了两种加工工具，并对实际的加工效果进行了深入的分析和讨论，指出其工艺的优点和缺点，为今后工艺的改进提出了自己的建议。