300公斤级蓝宝石晶体生长工艺研究

来源 :厦门大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lingliang416
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
蓝宝石材料具有优良的物理和化学特性,成为了医疗、军工、航空航天和电子屏幕和LED照明等领域的首选衬底材料之一。目前LED的巨大市场带动了蓝宝石衬底的需求,尤其是对4英寸和6英寸衬底的需求更是日益增大。虽然现阶段国内在蓝宝石的生长技术有所突破,但国际上Mono crystal等大厂已经开始研发和推出利用率更高、成本更低的350kg级蓝宝石晶体,因此开发大公斤的蓝宝石晶体生长技术具有重要意义。本论文结合国内自身基础,选择300kg级晶体技术进行开发,研究采用了泡生法蓝宝石晶体生长技术,进行生长热场设计、工艺搭建、晶体缺陷分析以及工艺问题改善等工作,不仅能满足增加了大尺寸衬底产出,同时最大提高了晶体利用率降低衬底成本,最有效提高国内蓝宝石衬底的市场竞争价值。论文的主要工作及创新点如下:(1)选择泡生法工艺进行工艺及缺陷规避分析,设计出300kg蓝宝石生长热场和工艺,并生产出300kg级蓝宝石单晶晶体。(2)运用CGSim软件进行300kg热场及生长过程模拟,初步解决放肩流体不规则及固液界面角度不合适的问题,设计出直筒加热器申请专利并得到授权。(3)引入红外测温进行温度和对应功率标定,结合蓝宝石热膨胀特性,进行晶体退火实验:1.设计两段式降功率程序,减少40h降温时间;2.提前进行充气降温,加快低温原位冷却,减少20h冷却时间。(4)通过现象分析判断和软件模拟,进行了热场修改和工艺优化,降低色心、包裹物、气泡等缺陷,解决了籽晶夹头断裂和晶体周期长等工艺问题,产出一颗高质量的300kg级蓝宝石晶体,掏出2533mm有效长度的4英寸晶棒,良率约为71%。
其他文献
业务流程管理理论经过三十年的发展日趋成熟与完善,越来越多的国内外企业意识到流程管理的重要作用并将其运用于管理改进。但是,单纯的企业业务流程管理在实践中却频频失败。大量案例研究证实了管理会计系统能在业务流程中发挥柔性管控的作用,这种业财融合的方式能有效提升企业经营效率、增强企业竞争力。此外,21世纪是信息化的时代,以大数据、云计算、物联网、人工智能、移动互联网等网络技术为基础的数字经济对宏观经济以及
学位
二氧化碳等温室气体的大量排放是导致气候发生变化的重要原因,各国一直致力于解决气候问题。碳排放权交易是减少温室气体排放和应对气候变化的重要途径。中国作为最大的二氧化碳排放国,自2013年起,先后建立了七个碳排放权交易市场,旨在利用市场机制进行节能减排,实现绿色低碳发展。因此,碳价格预测在洞察碳市场动态和碳排放配额分配方面发挥着重要作用,是减少温室气体排放和应对气候变化的一项重要工作。然而,传统统计时
学位
以区块链、大数据和人工智能等为代表的数字化技术改变了很多传统行业固有的经营模式,而金融科技就在以商业银行为代表的传统金融业掀起了一场悄无声息的数字革命。一方面,金融科技的发展冲击了传统商业银行的存贷款业务和中间业务,从而使得银行的业绩表现出现下滑;但另一方面,金融科技也可以“为银所用”,为有着庞大客户群以及雄厚资本实力的商业银行带来数字化转型的机遇和新的业务发展点,从而为现代银行业带来新的发展思路
学位
本文在Athey的因果树的基础上,考虑了当数据不满足随机实验,即为观测性数据的情况下,如何减小混杂偏差对因果效应估计的影响。本文通过将因果树方法与倾向得分分层方法结合,用倾向得分分层方法将数据分层,达到层内数据具备较高的同质性,各混杂因素在每层的分布趋于一致,从而减小混杂偏差对估计的影响。本文首先基于倾向得分分层方法,将数据分层,并用t统计量度量层内倾向得分相似性,若t值大于1则继续按照层内中位数
学位
草莓(Fragaria’ananassa Duch)是一种营养价值高且具有保健作用的水果,在国内主要以设施栽培为主。草莓果实颜色是消费者评价的外观品质之一。决定草莓颜色的主要因素是花青苷的积累,而MYB类转录因子在植物花青苷合成途径中的有着重要的作用。本研究从栽培草莓品种‘红颜’中克隆出FaMYB4基因,利用生物信息学分析预测其结构与功能,通过q RT-PCR分析FaMYB4基因在草莓中的时空表达
学位
资本市场通过市场中公司基本经营信息流通、交互,及时、准确地反映证券价格。然而,资本市场的信息分布并不对称,也形成证券市场不同参与主体获取的经营信息并不一致。信息披露经历了从自主披露到强制披露,进而再到强制性与自愿性披露相结合的不断成长、变化的过程,自愿性信息披露不断受到发行人和投资者的重视已成为发展的趋势。自愿性信息披露是指上市公司所进行的旨在提高企业形象、便利企业融资,降低融资、沟通成本所进行的
学位
随着金融市场的不断发展完善,越来越多的投资者选择通过金融机构的代理投资进行理财投资活动。有大量研究指出,这种利用他人资金的代理投资活动会提高代理决策者的风险偏好并引发其冒进投机活动,最终导致资产价格泡沫的产生。然而,有的研究发现与之完全相反的结论。还有研究表明,为了追求更高的收益率,专业理财顾问在为自己做投资时和为客户代理投资时都倾向选择风险更高的项目。针对这些争议,本文引入投机责任这一概念,即投
学位
行人重识别是指在跨多个非重合摄像头的场景下,在行人数据库中检索出指定查询行人图像的技术。行人重识别在安防监控以及无人超市等领域有着重要的应用前景,因此吸引了国内外学者的广泛关注。近年来,由于深度学习的发展及其在计算机视觉领域的广泛应用,基于深度学习的行人重识别算法性能有了长足的进步。然而,在真实行人重识别场景下,经常出现各式各样的遮挡,包括各种干扰物以及行人之间的遮挡。遮挡会对训练好的模型造成极大
学位
随着经济的大幅增长,人民生活条件得到极大改善,但在经济高速增长下却隐藏着中国经济发展不平衡和不充分的隐患,如贫困、收入不平等、医疗不健全等,这些问题都影响着居民的幸福感。居民幸福感是指在一定时期内人们对于物质生活和精神生活的满意程度,是个体对其整体的生活质量做出的积极评价。在总结国内外现有研究的基础上,明确居民幸福感的内涵,根据马斯洛需求层次理论分别从生理需求、安全需求、社交需求以及尊重需求多维视
学位
互联网技术不断发展,一种存储于虚拟空间内的数字化财产正不断进入大众的视野,这种新型的数字化财产便是“虚拟财产”。随着国内“虚拟财产”及其继承纠纷案件的日益增多,国内学者开始逐步对其进行研究。在立法层面,我国现行法律规定了对“虚拟财产”及数据进行保护。同时,“加强对数字货币、网络虚拟财产、数据等新型权益的保护,充分发挥司法裁判对产权保护的价值引领作用”的表述,亦表明我国肯定了“虚拟财产”属于财产的态
学位