气体静压节流器微流场焦耳-汤姆逊效应的研究

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【摘要】

：

气体静压节流器已被广泛应用于超精密加工及超精密检测技术领域,随着这些领域的快速发展,对该器件的性能也提出了更高的要求。由于气体在气体静压节流器微流场内的流动不是等温的,在高精度的应用场合,应考虑温度对节流器的影响。本文从焦耳-汤姆逊效应入手,研究了温度在节流器微流场内部的分布情况,主要的工作围绕以下内容进行:(1)利用立方型状态方程和BWRS方程求解了空气焦耳-汤姆逊系数,结果表明随着供气压力和供

【作者】

：

程阳

【机构】

：

中国计量学院

【发表日期】

：

2015年03期

【关键词】

：

气体静压节流器焦耳-汤姆逊效应微流场温降流固耦合变形

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