铁电薄膜材料被广泛应用于制造微波器件。铁磁共振线宽是衡量磁性材料微波损耗的一个参数,在铁电薄膜材料的生产单位中,通常采用谐振腔微扰法来进行铁磁共振线宽的测量。由于当前市场对各种器件都提出了小型化、轻量化的要求,这使得微波器件也要求铁电材料向小型化、薄膜化以及集成化的方向发展。同时铁电薄膜材料的生产厂商以及用户对于材料的铁磁共振线宽测试提出了新的要求,比如精度更高、测试范围更宽。如何满足厂商和用户日益增长的需求已经成为铁磁共振线宽测试领域面临的新课题。本文主要对于实现铁电薄膜材料在8~18 GHz频段内进行铁磁共振线宽的测试制定测试方案,设计了测试系统中需要的微波器件,并搭建测试系统。本课题的主要工作包括以下几方面的内容。首先了解并分析了国内外对于铁磁共振线宽研究状况,分析了常用的测试方法,然后根据测试系统指标的要求确定了本文的测试方案;根据测试指标,考虑对于铁磁共振线宽的测量,需将样品放置于微波磁场最强、电场最弱处,因此设计双脊波导作为测试夹具,双脊波导与相同尺寸的矩形波导相比,其场强得到压缩,更加集中,同时设计了波导-同轴转换接头;并编制了针对高斯计和直流电源的程控软件,以使实验操作更为便捷;最后搭建测试系统,选取样品进行铁磁共振线宽测试。测试结果及分析表明,本文所搭建的测试体系可以满足测试功能及指标要求。