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铁电材料具有优越的介电性、铁电性、压电性、热释电性以及电光效应、声光效应等特性,Pb(Zr,Ti)O3作为最有前景的铁电材料之一,已经被广泛研究并应用于微机械系统、传感器、铁电存储器等领域。但就现阶段存储器的应用来说,需要更深入的探索,来突破和解决尺寸、能耗、成本等难题。其中Pb(Zr,Ti)O3薄膜中的畴结构会对其性能产生极大影响,因此对薄膜中畴结构的研究和调控就显得尤为重要。本文首先采用脉冲激光沉积法在多种衬底上制备Pb(Zr0.iTi0.9)O3薄膜,随后通过X射线衍射和扫描探针显微镜对薄膜样