玻璃基离子交换波导光功率分配器的设计和工艺制作

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离子交换是一种传统有效的玻璃基光波导制作技术。与其它几种玻璃基光波导制作技术相比,它成本低廉,传输损耗低,与光纤匹配好,玻璃基片应力小环境稳定性好,甚至易于掺杂稀土离子例如掺铒光放大器。离子交换适合用于生产低成本大批量的无源光器件。光功分器是一种大量应用于无源光网络的基础器件。它的性能指标主要有插入损耗、均匀性、偏振相关损耗和环境稳定性。本文主要分析讨论了光功分器的微观结构设计,归纳出了三个重点:曲率半径的选取,Y分叉设计的注意事项,还有Y分叉前端的直波导的长短。曲率半径和Y分叉影响器件的损耗和长度,直波导的长短影响功率分配的均匀性。利用典型的单模波导银钠离子交换工艺,制作了参数版,测定了波导曲率半径和插损的关系。改进了1×8光功分器的设计,使器件总长度压缩到12.5 mm,并且保持性能优异。工艺实验结果证明了该设计是成功的。根据改进的设计制作的功分器,插损可以达到10 dB以下,均匀性可以达到0.3 dB以下。参考直波导的插损约为0.5 dB。改进了1×16和1×32的设计。1×16芯片的总长度为15 mm,1×32芯片的总长度为24 mm。实验结果表明光功分器的工艺容差比较大,制作参数可控,重复性好。只要波导宽度控制在8μm以下,深度控制在14μm以上,波导单模,功分器的性能便可达标。
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