【摘 要】
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NdFeB永磁材料具有优异的磁学性能，广泛应用于发电机、汽车、医疗仪器和计算机等高新技术领域，是支撑现代电子信息产业基础的重要基材料之一。随着电子器件及系统向微、精、薄、智能化方向发展，NdFeB永磁薄膜将在微型电机、磁记录、传感器和微波电路等方面拥有较好的应用前景。本文采用磁控溅射法在P型Si（100）基片上制备了不同NdFeB层和Nd层厚度的Ta/Nd/NdFeB/Nd/Ta薄膜，并对薄膜进行
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NdFeB永磁材料具有优异的磁学性能，广泛应用于发电机、汽车、医疗仪器和计算机等高新技术领域，是支撑现代电子信息产业基础的重要基材料之一。随着电子器件及系统向微、精、薄、智能化方向发展，NdFeB永磁薄膜将在微型电机、磁记录、传感器和微波电路等方面拥有较好的应用前景。本文采用磁控溅射法在P型Si（100）基片上制备了不同NdFeB层和Nd层厚度的Ta/Nd/NdFeB/Nd/Ta薄膜，并对薄膜进行了650℃和750℃的晶化处理。采用扫描显微镜观察了薄膜的生长情况，通过原子力显微镜（AFM）分
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随着科技的飞速发展和产业快速转型，传统的接触式运输传动已经不能现代化产业的需求。越来越多的产品在设计的过程中都对磨损、发热和振动等提出了更高要求，为此悬浮技术越来越多地受到学者们的青睐。气动悬浮由于其结构简单、悬浮力大、获取方便等特点被广泛地应用在一些高精度运输平台中。由于可悬浮起任何材料，并不需要复杂、庞大的工作装置，因此超声悬浮也作为一种新型悬浮方式被学者们广泛地研究。为了实现非接触式直线运输
车间调度问题关系到企业的生产计划与生产过程,是高效生产的关键问题之一。本文在国家自然科学基金(No.50975039)的资助下,以福建G公司的带AGV约束的作业车间调度问题为工程背景,研究约束作业车间调度问题的优化方法。在生产实际中,妥善协调作业车间调度问题与AGV调度问题能够有效降低企业生成成本并提高生产效率。合理调度AGV与车间作业,实现车间内部的物流系统与生产系统协调合作,已经成为制造企业提
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