【摘 要】
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利用量子化学的密度泛函理论,研究用于制备紫外光电器件的AlN薄膜在MOCVD生长中的气相寄生反应,计算与气相纳米粒子相关的3种主要多聚物[DMAlNH2]2,[MMAlNH]2,[MMAlNH]3与NH3
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(61474058)
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利用量子化学的密度泛函理论,研究用于制备紫外光电器件的AlN薄膜在MOCVD生长中的气相寄生反应,计算与气相纳米粒子相关的3种主要多聚物[DMAlNH2]2,[MMAlNH]2,[MMAlNH]3与NH3的反应路径.通过对比不同温度下反应前后的吉布斯自由能差ΔG以及过渡态的活化自由能ΔG*,判断反应发生的方向和概率.结果表明:[DMAlNH2]2存在2条竞争路径,当T<749 K时,反应走[DMAlNH2]2与NH3的双分子反应路径,产物为[Al(NH2)3]2;当T>749 K时,反应趋向于
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