测量InGaAsP/InP异质界面的化学斜面法

来源 :吉林大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:JK0803_lijixiang
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本文利用AES测量了InGaAsP/InP异质界面的组分分布和界面宽度,提出了化学斜面法测量界面宽度的新方法,同时讨论了晶格失配对界面宽度的影响。
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