极紫外多层膜制备工艺研究

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介绍了用平面磁控溅射方法制备极紫外多层膜的研究工作。围绕极紫外多层膜技术 ,重点探讨了多层膜膜厚定标和工艺过程对多层膜结构和内部成分的影响。为深入研究多层膜制备工艺指明了方向。 The preparation of EUV multilayer films by planar magnetron sputtering is introduced. Focusing on the technology of EUV multilayer film, the effects of multi-layer film thickness scaling and process on multilayer structure and internal composition are discussed. In order to further study the multi-layer film preparation process indicates the direction.
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