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新型微波等离子体源
新型微波等离子体源
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:matrix521
【摘 要】
:
微波等离子体的一个重要发展是电子回旋共振(ECR)放电,本文介绍ECR放电技术的现状和报告一种新型ECR等离子体源—横磁瓶ECR等离子体源,并叙述其原理和结构。更多还原
【作 者】
:
郭华聪
【机 构】
:
四川大学原子核科学技术研究所成都610064
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1993年3期
【关键词】
:
电子回旋共振
微波等离子体源
半导体集成电路
Microwave plasma
TMB-ECR
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微波等离子体的一个重要发展是电子回旋共振(ECR)放电,本文介绍ECR放电技术的现状和报告一种新型ECR等离子体源—横磁瓶ECR等离子体源,并叙述其原理和结构。更多还原
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